精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト
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製作実績XYステージの実測データです。
(仕様 : エアスライダ、ガントリ構造、ダブルスケール)
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停止時安定性(位置偏差)
製作実績XYステージの実測データです。
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