半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります。液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも製作実績があります。
レーザーによる微細穴加工を施した、バラツキの少ない高精度エアベアリングです。
各種部材をカスタマイズ対応にて製作致します。エアスライダー用のビームについては、長尺対応が可能です。
装置組立・精密ユニット組立等、組図・部品リストの開示により、ご支給品を含め、部品調達から製品提供まで一貫受託製造を請負います。
