精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト

あわら本社工場概要

クリーンルーム

(第1工場内 クリーンルーム)

サイズ

15m x 17.5m x 5m(フック下)

クリーン度

クラス10000

温度環境

±0.1℃

クレーン

2.8 Ton

(第2工場内 クリーンルーム)

サイズ

13m x 23m x 3.5m

クリーン度

クラス10000

温度環境

±0.2℃

機械調整場

(第1工場内 機械調整場)

サイズ

15m x 30m x 6m(フック下)

温度環境

±1.0℃

クレーン

5.6 Ton , 2.8 Ton

発送場クレーン

15 Ton

(第2工場内 機械調整場)

サイズ

20m x 30m x 4m(フック下)

温度環境

±1.0℃

クレーン

2.8 Ton

主要検査装置・測定器 一覧

• レーザー測長器一式(分解能:1nm)
• XL-80、XC-80
• RENISHAW 製

• オートコリメータ(分解能:0.5 秒) 6D
• ニコン製

• 電気マイクロメータ(1um) ミニコム E-M5R
• 東京精密製

• 静電容量計(測定分解能:3.125nm)
• マイクロセンス5430
• 日本ADE 製

• セラミックス基準直定規 1,500mm、1,000mm
• 社内組立用 3um

• バーミラー
  (面精度:λ/20)(材質:クリアセラム)
• キヤノン製

• セラミックス基準直角定規 □550mm、□450mm、□350mm、社内組立用 3um

• 二次元エンコーダ
  KGM182
• HEIDENHAIN製

その他付加設備

• 伸縮式クリーンチャンバー
• 「たためーるくん」
• さくらコーポレーション製

• オープンクリーンシステム
• 「 KOACH R 1050-F」　興研製

4.3(W) x 6.0(D) x 3.0(H) mブース内パーティクル(28.3L中)　【実測値】

0.3μm粒径 :

1個

0.5μm粒径 :

0個

1.0μm粒径 :

0個

3.0μm粒径 :

0個

5.0μm粒径 :

0個

10.0μm粒径 :

0個

倉敷化工㈱ステージ新工場

2019年竣工

(工場外観)

(クリーンルーム)

サイズ

16m x 24m x 3.9m(フック下)

クリーン度

クラス10000

温度環境

±0.1℃

クレーン

2.8 Ton

(機械調整場)

サイズ

16m x 30.4m x 4.87m(フック下)

温度環境

±1.0℃

クレーン

5.0 Ton

(トラックヤード)

搬出口

6m x 4.76m(フック下)

クレーン

20 Ton

中国済南工場(中国提携工場)

(組立場所：クリーンルーム)

サイズ

24m x 30m

クリーン度

クラス10000

温度環境

±0.1℃

クレーン

20 Ton