精密XY平台,气浮轴承,陶瓷制品部件,气浮滑轨　MOTION TRUST

规格

超高精度LIP系列

• 信号周期　512nm
• Zerodur，精度等级　±1μm

超低振幅特殊LM导轨

• 振幅　15nm以下
• 动的再现性　±25nm以下

仓敷化工股份公司制造
空气控制型主动式除振台组合件EST-A型号

• 实现了独自控制方式的优秀除振和减震性能
• 內置了万向活塞机制，根据低固有值化的優秀的基本性能

将超低振幅特殊LM导轨，高性能直线马达，主动式除振台组合， 大幅度提高了到目前为止以滚动的向导方式都未能实现的运动再现性，速度稳定性，停止稳定性。