精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト

株式会社モーショントラスト

製品情報

セラミックス部品

各種部材をカスタマイズ対応にて製作致します。
エアスライダー用ビームにつきましては、長尺対応が可能です。
まずはお問合せください。

セラミックス製 エアスライダー用ビーム

仕様
素材アルミナ(99.5%)
寸法2,500x360x200mm
精度平面度・平行度 5μm

多孔質吸着プレート

仕様
サイズ210x300mm
気孔径φ40μm
面精度10μm以下(実績値)
材質セラミックス(絶縁体)
表面色ツヤ消し黒色
吸着性能ステージ表面圧力
-10kPa以下
吸着順序中央から端部
設置台座グラナイト

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