精密 XYステージ、エアベアリング、セラミックス部品、エアスライダのモーショントラスト

各種部材をカスタマイズ対応にて製作致します。
エアスライダー用ビームにつきましては、長尺対応が可能です。
まずはお問合せください。

セラミックス製 エアスライダー用ビーム

仕様
素材	アルミナ(99.5%)
寸法	2,500x360x200mm
精度	平面度・平行度 5μm

多孔質吸着プレート

仕様
サイズ	210x300mm
気孔径	φ40μm
面精度	10μm以下(実績値)
材質	セラミックス(絶縁体)
表面色	ツヤ消し黒色
吸着性能	ステージ表面圧力 -10kPa以下
吸着順序	中央から端部
設置台座	グラナイト