精密XY平台,气浮轴承,陶瓷制品部件,气浮滑轨 MOTION TRUST

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产品信息

精密XY平台

我们自傲于从半导体用小型平台到液晶用大型平台的广泛制造实绩。
关于液晶制造装置的使用,第10代对应平台也有制造实绩。

表面模型气动滑轨平台 龙门驱动型气动滑轨平台 正交型直线向导平台 龙门固定型气动滑轨平台 正交型气动滑轨平台 龙门驱动型直线向导平台

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表面模型气动滑轨平台

☆超精密机型(用途:面向半导体用小行程检查装置)
根据气浮滑轨式样构成的低重心且将高度压低的追求了超精密驱动的平台。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程400mm400mm
外形尺寸1250*1000*270mm
分辨率0.4nm
直线度(水平)0.2μm/100mm
直线度(垂直)0.2μm/100mm
pitch0.5秒/100mm
yaw0.5秒/100mm
速度稳定性±0.05%※1
※1.上述测验是在100mm/sec,0.2msec中抽查的数据。

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龙门驱动型气浮滑轨平台

☆高直线度 · 高再现性机型(用途:面向液晶用测定装置)
根据气浮滑轨式样构成,追求了长行程之间的无论处于哪个位置都可有重复再现性的精度的平台。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程2250mm2700mm
外形尺寸3640*4140*2040mm
分辨率0.02μm
重复定位精度±0.07μm
直线度(水平)3μm/2700mm
直线度(垂直)7μm/2700mm

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正交性直线向导平台

☆高速移动 · 高速定位机型(用途:面向液晶用制造装置)
根据气浮滑轨式样构成,重复位置决定精度以及重视整定时间的追求高生产节拍的平台。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程1300mm1700mm
外形尺寸3500*3160*1200mm
分辨率0.015μm
重复定位精度±0.08μm
最高速度1500mm/sec
加减速0.3G
※负荷重量3t
整定时间400msec

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龙门固定型气浮滑轨平台

☆高精度定位机型(用途:面向激光用加工装置)
根据气浮滑轨式样构成,以大型机床的加工为目的,控制因加工过程中由于超负荷而发生的振动,是追求高精度定位的平台。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程2300mm3500mm
外形尺寸3500*5000*2600mm
分辨率0.015μm
重复定位精度±0.2μm
直线度(水平)5μm/3500mm
直线度(垂直)8μm/3500mm
Pitch3秒/3500mm
Yaw1秒/3500mm

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正交型气浮滑轨平台

☆超精度机型(用途:面向液晶制造装置)
根据正交型両轴空气向导所构成,是追求高精度定位并且双轴扫描驱动的平台。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程690mm1,550mm
外形尺寸1,600*1,660mm
重复定位精度±0.097μm
整定时间400msec
最高速度500mm/sec
直线度
(垂直·水平)
±1.2μm
±1.13μm
±2μm
±0.63μm
速度稳定性±0.1%
(35mm/sec時)
样品频率100Hz

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龙门驱动型直线向导平台

☆高速定位机型(用途:面向液晶用检查装置)
采用制罐框架结构,不仅是实现了低成本的大型平台,而且也实现了高性能。

规格X轴(上轴)Y轴(下轴)
行程2,490mm3,106mm
外形尺寸3,080*4,000*1,942mm
重复定位精度±10μm
最高速度300mm/sec
直线度
(垂直·水平)
±20μm

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